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概要

走査透過電子顕微鏡（STEM：Scanning Transmission Electron Microscope）は、微細化が進む材料やデバイス製品を原子レベルでの構造や組成の評価が可能です。
HD-2700形STEMには、レンズの球面収差を補正する球面収差補正器（Cs-corrector）が搭載されており、構造・組成・化学結合状態を高水準で評価することができます。

特長

高分解能観察	球面収差補正器搭載によって高分解能（原子レベル）な明視野STEM像、環状暗視野STEM像、二次電子像の取得が可能
高感度EDX分析	大口径100㎟SDDにより、微小領域、微量元素の高感度分析が可能
高エネルギー分解能 EELS分析	冷陰極電解放出形電子銃とDualEELSの組み合わせによって、高エネルギー分解能で高精度なEELS分析に対応、組成分析や化学結合状態の評価が可能

主な用途

分析事例

①貴金属触媒（Ptコア/Pdシェル構造）のSTEM観察（加速電圧200kV）

②カーボン材料の高エネルギー分解能EELS分析

カーボンは結合状態の違いによって、EELSスペクトルの微細構造が異なります。高エネルギー分解能EELS分析によって、sp²結合のアモルファスやグラファイトだけπ^*ピークが確認できます。STEM-EELS分析では、原子レベルの分解能で組成や化学結合状態の情報を得ることが可能です。