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概要

X線を照射して物質特有の角度に回折（反射）するX線を捕えることにより、化合物種同定や結晶構造解析が可能です。評価可能な材料は、粉末・バルク材・微小異物・薄膜・単結晶・ナノ粒子等多岐に亘ります。

特長

◆化合物種の同定や定量分析

◆微小異物の化合物種同定（≧50μmφ）

◆極薄膜の結晶構造解析（≧5nm）

◆材料の結晶系・結晶粒径・格子定数解析

◆残留応力・結晶化度・結晶配向状態解析

◆大気非曝露環境下（露点-100℃）での測定

◆試料高温条件下（≦1400℃）での測定

◆薄膜積層体の密度・膜厚・ラフネス評価

◆ナノ粒子の粒径・分布測定

主な用途

様々な目的に対応可能な測定機種とアタッチメントを用いて、多様なニーズにお応えします。

広角X線回折	粉末・バルク材料の評価
薄膜X線回折	膜材料・材料表面の評価
微小部X線回折	小異物・微量試料の評価（ビーム径：≧50μmφ）
極点図形	結晶配向状態の評価（微小部測定も可能）
高温X線回折	試料高温条件下での評価（室温～1400℃）
雰囲気制御	Arガス雰囲気中での評価（露点≒-100℃）
残留応力	残留応力の評価（微小部測定も可能）
面内X線回折	極薄膜材料・材料極表面の評価
4結晶法	単結晶材料・強配向材料の評価
小角散乱	長周期構造材料・ナノ粒子・ナノポア材料評価
X線反射率	薄膜積層体の膜厚・密度・ラフネス評価

分析事例

①鋼板上に生成した腐食生成物

⇒ 腐食生成物はFe₃O₄（マグネタイト）主体でFe₂O₃（ヘマタイト）も混在していることが確認されました。

②基板上に付着した微小異物

⇒ 微小異物は硫酸アンモニウムであることが確認されました。