Scientific Industrial Equipment
日立ハイテクサイエンス製
NEXTA STAシリーズ
示差熱熱重量同時測定装置(TG/DTA)の最新シリーズです。高評価を頂いていたデジタル水平差動天秤方式に加えて、新しく取り入れた天秤制御技術で、ugオーダーでのベースライン安定性、再現性を実現しました。また、高い温度制御技術による様々な温度プログラムへの対応、DTAからDSCに進化し比熱容量測定まで対応、試料観察測定の対応、新規に設計したガス流路によって高いレベルのガス置換性を実現しています。
従来の測定用途に加えて、先端材料の成分定量や、複合材料の成分定量、微量水分量の定量といった分析に威力を発揮します。
自動位置決め機能により、試料台の上にサンプルを置くだけで、試料観察光学系の焦点を数秒以内に自動的に合わせることができます。
これにより、従来は手動で行っていた焦点合わせの操作が無くなり、測定にかかわるスループットが格段に向上しました。
従来好評を得ていたデジタル水平差動方式に加えて、NEXTAでは新しい天秤制御技術を取り入れました。
従来は、温度プログラムの履歴や周辺環境要因でのベースラインドリフトが発生していましたが、新しい天秤制御技術では、温度プログラムに左右されないベースライン安定性を実現します。
NEXTA STAで搭載している温度制御技術として、従来のアプリケーションである一定速度での昇温及び昇降温測定、CRTA(速度制御型加熱方式)に加え、新たに交流温度制御測定を搭載しました。
これまで以上にさまざまな用途の測定に対応します。
DTAからDSCに進化し、TGとDSCの同時測定を実現しました。
また、温度変調DSC法を利用して、汎用DSCでは測定が出来ない幅広い温度範囲での比熱容量測定を実現しました。
好評を頂いているReal Viewオプションがさらに進化しました。
測定中の試料を観察するだけなく、デジタルズーム、画像解析、測長機能、さらに色彩解析といった各種の解析機能を搭載し、様々なアプリケーションに対応できるようになりました。
天秤方式 | デジタル水平差動型 |
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温度範囲 | STA200:室温~1100℃ STA200:室温~1000℃ STA300:室温~1500℃ |
TGベースライン | <10 ug |
TGベースライン安定性 | <10 ug |
DSC機能 | 標準搭載 |
比熱容量測定 | 可能(オプション) |
温度精度 | +/-0.07℃ |
温度確度 | +/-0.2℃ |
Real Viewオプション | STA200:非対応 STA200:オプション STA300:非対応 |
ガスコントロール | MFC標準搭載 |
自動位置決め機能により、サンプルを置くだけで、数秒以内に試料観察光学系のフォーカスを合わせます。
最適レイアウトで微小ビームの高感度化を実現し、微小コリメータ(φ0.1、0.2mm)での膜厚測定精度が向上しました。
薄膜FPソフト拡充により、厚み標準物質なしでも測定が可能です。多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。
広域観察システムにより、試料全体像(最大250×200mm)を観察し、特定部の測定位置を容易に指定することができます。
タイプ | FT110A |
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測定元素 | 原子番号Ti(22)~Bi(83) |
線源 | 小型空冷式X線管球 管電圧:50kV 管電流:40~1000μA(可変) |
検出器 | 比例計数管 |
コリメータ | ○型:0.1mmΦ、0.2mmΦ他2種 |
試料観察 | CCDカメラ(広域観察可能) |
焦点合わせ | レーザーポインタ(自動) |
フィルタ | 一次フィルタ:自動切替え |
試料ステージ | [固定] 535×530mm [電動] 260×210mm (移動量X:250mm, Y:200mm) |
測定ソフト | 薄膜FP法(最大5層膜、10元素)、検量線法 |
安全機能 | 試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能 |
当社従来機(SEA1000AII)と同価格ながら、新採用のシリコン半導体検出器、電気制御系・機械駆動系の高速化により当社従来機種(SEA1000AII)と比較し、測定時間を1/3に短縮しました。
また従来オプション別売としていた「環境規制物質測定ソフトウェアVer.2」を標準装備としました。
測定開始からわずかな時間で測定試料の材質種別を判定できます。
従来は、測定前に分析レシピを選択する必要がありましたが、材質を装置が自動判定するため、分析レシピの選択で迷いません。
操作パネルのインジケータや電子音により、測定の進行状態をお知らせします。
測定パネルのプログレスバーにより、測定の進捗を把握できます。
RoHS指令の管理対象元素(Cd、Pb、Cr、Hg、Br)以外にも、塩素(Cl)をはじめ、アンチモン(Sb)やスズ(Sn)などの管理に対応した標準物質を自社で開発・製造しています。
最大12試料の連続測定が可能なサンプルチェンジャを搭載しています。
精度管理ソフトウェアによる測定時間短縮化はもちろん、データベースを用いた拠点内測定データの集中管理(検索・閲覧・解析・編集・印刷・レポート作成)により、検査の効率化をはかり、コスト削減につなげます。
測定元素 | 原子番号Al(13)~U(92) |
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試料形態 | 液体・粉体・固体 |
線源 | 小型空冷式X線管球(Rhターゲット) 管電圧50(可変)kV 管電流10~1000μA |
X線照射向き | 下面垂直照射型 |
検出器 | Si半導体検出器 ※液化窒素不要 |
分析領域 | 1、3、5 mmφ(自動切替え) |
試料観察 | カラーCCDカメラ |
フィルタ | 5モード自動切替え |
最大試料サイズ | 370(W)×320(D)×120(H) mm |
装置寸法 | 520(W)×600(D)×445(H) mm |
重量 | 60kg |
電源/消費電力 | AC100~240V(50~60Hz)/180VA |
サンプルチェンジャ | 装着可能 ※オプション |